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產(chǎn)品名稱:
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
適用于投產(chǎn)邊長(zhǎng)尺寸182mm~230mm,厚度110-220μm,翹曲度<3度的硅片,制絨前上料、激光SE下料、擴(kuò)散(退火、氧化、鍍膜、印刷)上料等隱裂、PL檢測(cè)。
?硅片、電池片隱裂和外觀檢測(cè),無需根據(jù)電池片的尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié),可兼容230mm以下的電池片尺寸。
?產(chǎn)品功能:在線全自動(dòng)檢測(cè)隱裂、崩邊、缺角、脫晶等各類內(nèi)部缺陷。
?可檢缺陷:隱裂、破片、缺口、正背崩邊、點(diǎn)黑、圈黑、劃痕、皮帶印、塊黑、手印、吸盤印、翻液、頂齒印、藍(lán)齒印、水印、片內(nèi)明暗差異、吸盤印、舟印、頂齒印、線痕、黑斑、黑邊、黑角、臟污、白斑、燒結(jié)不均、斷柵、同心圓等。
適用工位:制絨前上料、激光SE下料、擴(kuò)散(退火、氧化、鍍膜、印刷)上料等
檢測(cè)指標(biāo):采圖形方式(靜態(tài)/動(dòng)態(tài))
檢測(cè)精度:0.1mm/pixel,隱裂 :寬度≥20um,長(zhǎng)度≥1mm,崩邊 :面積≥0.25mm2,破片 :面積≥0.25mm2?
410×313×752mm
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